龙华
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杨光
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陈爱平
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李玉华
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陆培祥
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.01070
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在硅基片上生长了二氧化钛纳米晶氧化物薄膜, 系统讨论了基片温度、氧分压等因素对薄膜结构特性的影响.X射线衍射结果表明在氧气氛下, 生长的薄膜为锐钛矿结构, 其结晶性随着基片温度的升高而增强, 在750℃、5Pa氧压的情况下为完全c轴取向的锐钛矿相TiO2薄膜, 在750℃、5Pa氩气氛下则为(110)取向的金红石相薄膜. 场发射扫描电子显微镜结果表明薄膜表面致密, 呈纳米晶结构, 其晶粒尺寸在35nm左右.用傅立叶红外光谱和拉曼光谱对不同条件下制备的TiO2薄膜进行了表征.紫外-可见透射光谱的测试结果表明, 薄膜在可见光区具有良好的透过率, 计算得到制备的锐钛矿和金红石相TiO2薄膜在550nm处的折射率分别为2.3和2.5, 其光学带隙分别为3.2和3.0eV.因此通过沉积条件的改变可得到结晶性能和光学性能都不同的TiO2薄膜.
关键词:
TiO2薄膜
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pulsed laser deposition
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anatase
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rutile
王毅
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崔作林
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张志焜
无机材料学报
采用O2+Ar电弧等离子体法,使金属钛原子从钛金属构成的阴阳两电极上产生,形成瀑流,在被电离的氧等离子区域中被氧化形成晶态的TiO2纳米超细颗粒。通过TEM观察,所合成的TiO2粉体为纳米尺寸的分散性好的球形粒子,平均粒径在20nm左右。利用X射线衍射分析,粉体中的晶粒为锐钛矿和金红石的混晶结构。
关键词:
二氧化钛
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anatase
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rutile
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superfine particles
,
arc plasma method
